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卷绕镀膜设备

卷绕镀膜设备

 

                                                                                  - 腔体材质:304不锈钢
                                                                                  - 主泵:干泵或罗茨泵,涡轮分子泵,深冷泵,扩散泵等
                                                                                  - ·靶材:金属铝、铬、镍、钼、金等,氧化物ITO、二氧化硅、二氧化钛.
                                                                                  - 卷绕速度:0.01^6.00米/分钟
                                                                                  - 极限压力:空载≤1.07×10-4帕/24h
                                                                                  - 漏气率:使用氮捡漏仪≤1.33×10-4帕.升/秒
                                                                                  - 附着力:100%(磁带测试)
                                                                                  - 厚度均匀性:≤土5%有效区域
                                                                                  - 控制系统:人机界面控制(PLC+PC),选择功能(手动/自动/半自动),数据反馈和实时显示的功能
                                                                                  - Chamber meterial:Stainless SteelUNS304L).

                                                                                  - Main pump:Dry Pump or Rotary Pump,Turbo Molecular Pump(TMP),Cryogenic Pump,Diffusion Pump,etc.

                                                                                  - Target:Metal like Al,Cr,Ni,Mo,Au,etc. Oxide like ITO,SiO2,TiO2,etc.

                                                                                  - Winding speed:0.01~6.00m/min.

                                                                                  - ·Ultimate pressure:≤1.07ⅹ10 Pa/24h @Empty, Cleaning.

                                                                                  - Leak rate:≤1.33ⅹ10   Pa.L/sec with He leak detector. ·Adhesion:100%(Taping test).

                                                                                  - Thickness uniformity:≤±5% in effective zone

                                                                                  - Contron system:HMI control(PLC+PC base). Selection function (Manual/Auto/Semi Auto),Data feedback &Real time