卷绕镀膜设备

                                                                                  - 腔体材质：304不锈钢
                                                                                  - 主泵：干泵或罗茨泵，涡轮分子泵，深冷泵，扩散泵等
                                                                                  - ·靶材：金属铝、铬、镍、钼、金等，氧化物ITO、二氧化硅、二氧化钛.
                                                                                  - 卷绕速度：0.01^6.00米/分钟
                                                                                  - 极限压力：空载≤1.07×10^-4帕／24h
                                                                                  - 漏气率：使用氮捡漏仪≤1.33×10^-4帕.升／秒
                                                                                  - 附着力：100%（磁带测试）
                                                                                  - 厚度均匀性：≤土5%有效区域
                                                                                  - 控制系统：人机界面控制（PLC+PC），选择功能（手动/自动/半自动），数据反馈和实时显示的功能
                                                                                  - Chamber meterial:Stainless SteelUNS304L).

                                                                                  - Main pump:Dry Pump or Rotary Pump,Turbo Molecular Pump(TMP),Cryogenic Pump,Diffusion Pump,etc.

                                                                                  - Target:Metal like Al,Cr,Ni,Mo,Au,etc. Oxide like ITO,SiO2,TiO2,etc.

                                                                                  - Winding speed:0.01~6.00m/min.

                                                                                  - ·Ultimate pressure:≤1.07ⅹ10 Pa／24h @Empty, Cleaning.

                                                                                  - Leak rate:≤1.33ⅹ10   Pa.L／sec with He leak detector. ·Adhesion:100%(Taping test).

                                                                                  - Thickness uniformity:≤±5% in effective zone

                                                                                  - Contron system:HMI control(PLC+PC base). Selection function (Manual/Auto/Semi Auto),Data feedback &Real time